至純科技——一家用20年發(fā)展踐行“科技報國”的創(chuàng)新企業(yè)

5月12日下午，“百年榮光 再啟新程”閔行區(qū)慶祝中華全國總工會、上海總工會成立100周年暨模范集體、勞動模范和先進工作者表彰大會隆重舉行。在現(xiàn)場，全國工業(yè)和信息化系統(tǒng)勞動模范、上海市勞動模范代表之一，上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司董事長蔣淵女士上臺分享了自己的創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷和體會。作為民營高科技上市企業(yè)帶頭人，蔣淵女士始終踐行科技報國、產(chǎn)業(yè)報國的初心和使命。

回顧20年前，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨多重困境，蔣淵女士創(chuàng)立至純科技，從最開始的高純工藝系統(tǒng)出發(fā)，逐步向核心設(shè)備、電子材料等同能力圈的不同領(lǐng)域拓展。2017年上市后，堅定“自主可控”路徑，研發(fā)團隊攻堅克難，研制出高溫硫酸、單片磷酸等系列單片式機型，技術(shù)水平達國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進，部分工藝機臺填補了國產(chǎn)濕法裝備的空白。

作為國產(chǎn)高純工藝系統(tǒng)領(lǐng)軍者，至純科技自主研發(fā)的前驅(qū)體設(shè)備、研磨液設(shè)備等核心支持性設(shè)備累計交付量達3.6萬臺，2024年單年出貨量更是破了10,000臺大關(guān)。憑借48.8%的12英寸晶圓廠特氣設(shè)備市占率，至純科技徹底改寫此前美日法德及臺企的壟斷格局。公司的配套系統(tǒng)實現(xiàn)ppt級不純物控制，多項技術(shù)指標超越國際競品。

依托在氣體純化領(lǐng)域25年技術(shù)積累，公司已建成國內(nèi)首座完全國產(chǎn)化的28納米制程12英寸晶圓廠大宗氣站，并實現(xiàn)連續(xù)36個月穩(wěn)定運行。2024年，投運的第二座氣站已進入運營階段，后續(xù)預(yù)計每年貢獻數(shù)億元營收，為公司提供長期穩(wěn)定的現(xiàn)金流。配合TGM駐廠服務(wù)、腔體部件再生等增值業(yè)務(wù)，公司正形成覆蓋晶圓廠全生命周期的服務(wù)矩陣。

從起步時的7人團隊，到如今累計申請專利達867項的高新技術(shù)企業(yè)集團，至純科技用二十年時間詮釋了"中國智造"的韌性與活力。在發(fā)展進程中，至純科技還勇?lián)a(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”之責(zé)，攜手四五十家上下游企業(yè)構(gòu)建產(chǎn)業(yè)集群，全力推進國產(chǎn)化替代，目前已基本實現(xiàn)自主可控，具備持續(xù)為產(chǎn)業(yè)用戶提供高質(zhì)量服務(wù)的能力。盡管前期投入巨大，但這份未雨綢繆在去年12月以來的國際經(jīng)濟環(huán)境變化中彰顯成效。

立足"十四五"自主可控攻堅期，至純科技正以"關(guān)注核心工藝，服務(wù)關(guān)鍵制程"為使命，向著"成為國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體工藝裝備、工藝系統(tǒng)及材料提供商"的目標穩(wěn)步邁進，將繼續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新為矛、以產(chǎn)業(yè)協(xié)同為盾，在全球半導(dǎo)體競爭的浪潮中，開辟出一條自主可控的發(fā)展之路。

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